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탈기, Degassing

 

[ 개  요]

모든 액체에는 그 액체와 접하고 있는 기체와 같은 성분의 기체 분자가 일정하게 녹아있습니다. 즉, 이런 액체 중에 용존되어

있는 기체분자를 헨리의 법칙과 달턴의 분압의 법칙을 기본으로 제거하는 것이 탈기입니다.

또한 밀폐된 약액TANK내의 약액을 질소(N2 ) 가압 으로 압송되어지는 과정에서 많은 질소 기체가 용해됩니다.

이러한 약액은 레귤레이터나 피팅을 거치면서 마이크로 버블이 기포화 되어 웨이퍼 상에서 여러 가지불량을 일이키는 원인이

됩니다.

그 원인을 미연에 방지하고자 용존 기체 농도를 탈기 시스템을 통해 낮춰 불량을 최소화 합니다.

 

[ 탈기원리 ]

-탈기란?

물속에 용존해있는 기체(O2,N2,etc)를 제거 하는 것.

 

[ 어떤 원리로 탈기를 하는가? ]

물속에 용존 돼 있는 기체의 분압은 , 접촉하는 기상 중의 분압과 비례한다.  따라서, 기상의 분압을 내리면 물속에 용존 돼 있는 기체의

분압을 내리는 일이 가능해진다. ( = 탈기)

 

*분압 [partial pressure, 分壓 ]

혼합 기체를 만드는 각 성분 기체가 단독으로 원래의 혼합 기체와 같은 체적을 차지하고, 온도도동일한 경우에 나타내는 압력. 각

성분이완전 기체인 경우에는 “혼합 기체의 압력(=全壓)은 각 성분의 분압의 합과 같다"(달톤의 법칙)는 이론이 성립한다.

[ 탈기의방법 ]

 

 

 

 

탈기장치의 적용 분야 (반도체)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

액체에는 보이지 않는 기체가 녹아 있다.

The invisible gases contained in liquids

 

반도체 제조라인에서 사용 되는 처리액을 질소등의 기체를 이용하여 가압하면 용액 속에 녹아 들어가게 되고, 대기압의 상태로 돌아 오면 녹아 들어간 기체가 마이크로버블이 됩니다. 더욱이 이 용액을 가온 하게 되면 그 기체의 발생량이 현저하게 증가 하게 됩니다.

제조공정에서 발생하는 기포는 정밀을 요구하는 반도체분야에 있어서 수율 저하를 가저오는 원인중 하나 입니다. 그렇기 때문에 탈기는 필수 입니다.

 

반도체 도포 공정

현상액과 마찬가지로 반도체 도포 공정에 사용되는 Photo Resist나 Thinner 용제 등도

노즐까지의 이송 과정에서 Micro Bubble(마이크로버블)이 발생하여 공정상의 여러 문제를 일으킵니다.

 

반도체 세정 공정

웨이퍼의 세정 시에 초순수나 약액내의 버블이 웨이퍼 표면에 부착하여 세정효과를 떨어뜨릴 수 있으며, 용존산소의 경우에는 웨이퍼의 표면에 필요하지 않은 산화막을 형성하여 공정에 영향을 줄 수 있습니다.

 

주요 도입분야 및 용도

탈기로얻을수 있는 주요 효과로는 ①마이크로버블을 방지한다, ②용존산소에 의한 액반응(산화등)을 방지 한다.

등의 효과가 있으며, 실제로 아래와 같은 목적으로 사용 되고 잇습니다.

 

1.반도체, FPD제조공정에서 사용 되는 약액등을 탈기.

    -현상액    -세정액    -레지스트    -에칭액    -도금    -초순수 등

2. LCD 전 공정 분야, LCD 현상액의 재생(Recycle)공정, LCD 현상공정, LCD Color Filter의 도포공정

3. 정밀토출공정에 사용되는 약액을 탈기.

    -사진감광액    -잉크등

4. 측정치에 영향을 주는 원인을 제거.

    -검측기에 사용할 시료액을 탈기.

 

탈기효율이 높고, 내약품성이 뛰어난 TEFRON 중공사막 탈기모듈은 위와같이 광범위한 분야에서 사용 되고 있습니다. 

현재 반도체 제조분야와 전자분야를 시작으로 정밀 토출 및 액주입공정등 마이크로버블이 없어야 할 여러분야에 탈기모듈이사용 되고

있습니다. DIGITAL PHLOX는 앞으로도 다양화 되는 시장의 요구에 대응 가능한 탈기 모듈을개발 및 발굴 하여 고객에게 공급 하겠습니다.

 

탈기장치의 적용 분야 (산업)

 

 

 

 

 

 

빌딩배관 및 보일러 순환수 부식방지

빌딩,  보일러에서 급수관이나 온수관은 부식과 적수의 문제가 상시 이슈화되고 있습니다. 이 모두가 물속의 용존산소에 의해 배관이 부식되기 때문입니다.

탈기시스템은 이러한 문제를 해결할 수 있을 뿐만 아니라 기존배관수명도 연장시킬 수

있습니다.

 

식품업계

두부 제조, 곤약 제조, 밤 통조림, 삶은 콩 제조, 팥빙수, 우무, 절임류, 팩수, 팥 앙금 제조, 조리수, 다시 제조 스프, 어란의 착색 조림류 제조, 등의 공정에 사용하여  침투성 향상,,

효소활동 억제, 형태 유지 능력 증가, 가스 제거, 거품 제거 등의 식품에 이로운효과를

얻을 수 있습니다.

 

프린터 잉크 토출 불량 방지.

기타 용존 기체의 영향을 받는 곳.

   

 

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